マイクロバルブ

材質： SUS430FR

材質： ・切削加工＝1工程加工 ・Φ1mmクロスホール

内径公差 　+/-0.005mm

バルブ台座

材質：SUS316L

加工技術： ・切削加工＝1工程加工 ・内径+/-0.008mm，  対称度0.010mm max

ダイヤフラム

材質：ステンレス 17-4PH

加工技術： ・鏡面研磨加工 ・厚さ0.14mm，面粗度Ra0.025um max / Rz0.2um max

バルブプランジャー

材質：SUS304

加工技術：  厚み0.3mm，  同心度0.008mm max

樹脂バルブ

材質：PEEK

加工技術：  真円度0.020mm max， エア漏れ検査50sccm max