« チタン製ネジ
マイクロバルブ
材質: SUS430FR
材質: ・切削加工=1工程加工 ・Φ1mmクロスホール
内径公差 +/-0.005mm
バルブ台座
材質:SUS316L
加工技術: ・切削加工=1工程加工 ・内径+/-0.008mm, 対称度0.010mm max
ダイヤフラム
材質:ステンレス 17-4PH
加工技術: ・鏡面研磨加工 ・厚さ0.14mm,面粗度Ra0.025um max / Rz0.2um max
バルブプランジャー
材質:SUS304
加工技術: 厚み0.3mm, 同心度0.008mm max
樹脂バルブ
材質:PEEK
加工技術: 真円度0.020mm max, エア漏れ検査50sccm max